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Brooks-instrument Mfi Series Manual de usuario Pagina 63

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4-25
Brooks
®
Mf Series
Section 4 Maintenance &
Troubleshooting
Installation and Operation Manual
X-TMF-Mfi-Mfx-MFC-eng
Part Number: 541B074AAG
August, 2009
Figure 4-5 Model Mf51/61 Restrictor Element Orientation in Controller/Meter Body
4-7 Orifice Sizing
Orifice sizes for all Mf controllers should be sized using the "Brooks
Thermal Mass Flowmeter Sizing Selection Program" Revision 8.6 or later.
A copy can be requested through your local Brooks Sales Representative
or through the Brooks Customer Service Department.
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